1) SiH4
Si-28 г/м
H4=4 г/м
32-100%
4-Х%. X=12,5%-водород
2)NH3
N-14 г/м
H3=3 г/м
17-100%
3-Х%. Х=17.6% водород
1) SiH4
Si-28 г/м
H4=4 г/м
32-100%
4-Х%. X=12,5%-водород
2)NH3
N-14 г/м
H3=3 г/м
17-100%
3-Х%. Х=17.6% водород